用於研磨矽片的 1200 目 FO 的總資料表
產品:FO 尺寸:1200目
FO 是一種研磨和拋光粉,是一種高精度氧化鋁基磨料粉,專為精細研磨和表面精加工而設計,尤其適用於半導體裝置和矽片的精密研磨。
平均化學成分(典型值)
| 尺寸 | 比重(克/立方公分) | 化學成分(%) | ||||
| 氧化鋁 | 二氧化矽 | Fe2O3 | 二氧化鈦 | ZrO2 | ||
| 1200目 | ≥3.90 | ≥45.0 | ≤20.0 | ≤0.5 | ≤2.0 | ≤33.0 |
粒徑分佈
| 尺寸 | D0 | D3 | D50 | D94 |
| 1200目 | ≤23.0 | ≤20.0 | 7.1±0.7 | ≥4.0 |
主要應用
半導體晶圓、矽晶圓等的研磨與拋光
各種光學玻璃的表面處理
鏡頭、棱鏡、反射鏡、濾光片等的研磨和拋光
壓電材料的表面處理
光纖套管、研磨膜
氧化鋁和氮化鋁基板;半導體陶瓷元件
晶圓減薄和雙面研磨
……
包裝
10公斤PVC袋+托盤













