用於研磨矽片的 FO 1200 目 TDS

用於研磨矽片的 1200 目 FO 的總資料表

產品:FO                                                                                                                                                                      尺寸:1200目

FO 是一種研磨和拋光粉,是一種高精度氧化鋁基磨料粉,專為精細研磨和表面精加工而設計,尤其適用於半導體裝置和矽片的精密研磨。

平均化學成分(典型值)

尺寸比重(克/立方公分)                       化學成分(%)
氧化鋁二氧化矽Fe2O3二氧化鈦ZrO2
1200目≥3.90≥45.0≤20.0≤0.5≤2.0≤33.0

粒徑分佈

尺寸D0D3D50D94
1200目≤23.0≤20.07.1±0.7≥4.0

主要應用

半導體晶圓、矽晶圓等的研磨與拋光

各種光學玻璃的表面處理

鏡頭、棱鏡、反射鏡、濾光片等的研磨和拋光

壓電材料的表面處理

光纖套管、研磨膜

氧化鋁和氮化鋁基板;半導體陶瓷元件

晶圓減薄和雙面研磨

……

包裝

10公斤PVC袋+托盤

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